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晶圓測試探針臺

產(chǎn)品簡介：可用于12英寸以內(nèi)樣品測試。

  • 更新時間：2019-07-14
  • 瀏覽次數(shù)：5370

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詳細介紹

晶圓測試探針臺
型號 SE-4 SE-6 SE-8 SE-12
外形 580mm長*
620mm寬*
730mm高		 640mm長*
700mm寬*
730mm高		 660mm長*
660mm寬*
700mm高		 1030mm長
*820mm寬*
730mm高
重量 約70KG 約80KG 約85KG 約180KG
電力需求 220VC,50~60Hz
樣品臺 尺寸 4英寸，可360度旋轉(zhuǎn) 6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) 8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) 12英寸，可360度旋轉(zhuǎn)
X-Y行程 4英寸*4英寸 6英寸*6英寸 8英寸*8英寸 12英寸*12英寸
Z軸行程 6mm（快速切換）/6mm（微調(diào)）
移動精度 10um/1um
樣品固定方式 真空吸附
背電極測試功能 有，樣品臺電學獨立懸空
針座平臺 U型平臺，多可放置6個針座 U型平臺，多可放置8個針座 U型平臺，多可放置10個針座 U型平臺，多可放置12個針座
光學特性  顯微鏡行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm
顯微鏡移動精度 1um
切換鏡頭方式 顯微鏡快速傾仰30度   
放大倍數(shù) 16~100X/20~4000X
鏡頭規(guī)格 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配）
CCD像素 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
點針規(guī)格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
機械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏電精度 10pA/100fA     （配置屏蔽箱時）
接口形式 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口
應用方向 芯片及LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。
可選附件  顯微鏡傾仰裝置（傾仰30度） 高低溫樣品臺 光強/波長測試選件
顯微鏡氣動升降裝置 屏蔽箱 射頻測試附件
激光微加工 轉(zhuǎn)接頭 有源探頭
探針卡夾具 防震臺 低電流/電容測試
顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 鍍金卡盤 兼容積分球測試選件
液晶漏電分析套裝 同軸叁軸卡盤 光纖夾具耦合測試選件
高壓/大電流測試套件 樣品臺快速升降，微調(diào)升降裝置選件 PCB/封裝夾具測試選件
加熱臺 樣品臺旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件 特殊定制
特點 1.顯微鏡龍門柱式設計，可使顯微鏡在平面內(nèi)移動。
2.顯微鏡可傾仰或氣動升降，便于更換物鏡。
3.可升級做射頻，大電流方面的測試和激光修復應用。
4.同軸驅(qū)動卡盤，移動精度高。
 
特點
緊湊的結(jié)構(gòu) 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動
實惠的價格 無回程差設計
兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動 1微米以上電極/PAD測試
高等院校/研究所/公司實驗室使用 LD/LED/PD的光強/波長測試
可用于12英寸以內(nèi)樣品測試 材料/器件的IV/CV特性測試

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